中国

可运行所有表面形状测量

对于拍摄到的图像可自由测量

“想测量高低差· 形状实现数值化”

[剖面 3D 测量]
高度· 宽度· 角度截面积测量

对测量屏幕上任意指定的直线或曲线的横截面轮廓,都可进行“高度”、“宽度”、“横截面”、“角度”、“R 值”等测量。

基板高度差高度·宽度测量(1000 倍)

基板高度差高度·宽度测量(1000 倍)

微摄镜头 R 测量(1000 倍)

微摄镜头 R 测量(1000 倍)

表面积· 体积测量

测量屏幕上任何指定区域的“体积”、“表面积”、“ 面积∶表面积之比”。

光学薄膜 (1000 倍)

光学薄膜 (1000 倍)

太阳能电池表面积测量(1000 倍)

太阳能电池表面积测量(1000 倍)

“想要将表面状态的差异实现数值化”

[可以精确测量线粗糙度和面粗糙度]
线粗糙度测量

可以一边观察2D 或3D 图像,一边避开顶点或异物,测量目标部位的粗糙度。

“想要将表面状态的差异实现数值化”

面粗糙度测量

从视觉上来讲存在差异,那么差异究竟有多大呢? 可以测量面的粗糙度,通过数值确认平均化后的差异。

(例)功能性薄膜的暗纹(3000 倍)

样本A: Ra 1.5 μm

样本A: Ra 1.5 μm

样本B: Ra 3.2 μm

样本B: Ra 3.2 μm

透明薄膜测量内置“独特的算法”

不仅实现膜厚测量﹐还可获取最表面和背面的形状。

可对观察视野整个区域执行多层分析。可对已选的各层或多层进行 3D 图像显示、横截面轮廓显示,可测量任意位置的形状、薄膜厚度。

透明薄膜测量内置“独特的算法”

“想要一次性自动拍摄· 测量多个样本”

[自动测量具备规则图形的工件]
自动宽度· 高度测量

对于具备规则图形的工件的宽度· 高度,按照设置条件自动测量。由于是自动测量,因此不会生成人员造成的误差,可以在短时间内完成测量。

光致抗蚀图形(6000倍)

光致抗蚀图形(6000倍)

光学薄膜(1000 倍)

光学薄膜(1000 倍)