形状测量激光显微系统

VK-X 系列

解决问题

形状测量激光显微系统可以解决所有问题

使用形状测量激光显微系统则可全部简单地实现

光学显微镜

光学显微镜

提升倍率后,难以对焦,分辨率不足。

SEM

SEM

前处理或样本尺寸等的准备烦琐,仅能以黑白色进行观察。

粗糙度仪

粗糙度仪

不能够实现一边放大观察,一边对工件部位实施非破坏性的凹凸测量。

使用激光显微系统则可全部简单地实现

光学显微镜

有限的分辨率和放大倍数

有限的分辨率和放大倍数

光盘坑 (6000 倍)

景深浅

景深浅

刀尖 (1000 倍)

不支持可追溯性

不支持可追溯性

高分辨率,大景深观察

高分辨率, 最大放大24000 倍

高分辨率, 最大放大24000 倍

光盘坑(6000 倍)

完全聚焦的清晰图像

完全聚焦的清晰图像

刀尖(1000 倍)

符合溯源性要求

符合溯源性要求

使用 VK 系列获得的测量结果是高度可靠的测量数据,并且符合国家标准溯源性。

SEM

颜色不能确定,因为图像是黑色和白色

颜色不能确定,因为图像是黑色和白色

墨粉 (1000 倍)

准备与观察需要大量时间

准备与观察需要大量时间

样本大小是受限制的

样本大小是受限制的

由于受到样本的大小或者样本不适合在样品室等原因的影响,观察有时是不可能的。

彩色SEM的效果

16 bit 激光彩色观察

16 bit 激光彩色观察

墨粉(1000 倍)

放置并且测量,您可以在几秒钟内进行分

放置并且测量,您可以在几秒钟内进行分

各种样品的测量

各种样品的测量

可拆卸测量头单元允许各种尺寸的样品测量。可拆卸测量头单元可以与其他设备整合并支持远程操作。

粗糙度仪

由于接触探针造成样本刮伤

由于接触探针造成样本刮伤

铝表面(200 倍)
在屏幕上水平凹槽。

难以测量目标

难以测量目标

用触笔击中目标的理想位置可能会产生一些问题,例如目标为螺纹顶。

分辨率受限于触笔尖端直径

分辨率受限于触笔尖端直径

无法测量粗糙度小于测量仪器的触笔尖端的粗糙度的表面。

无损轮廓和粗糙度测量

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