形状测量激光显微系统VK-X 系列

VK-X160K

测量部

规格

选择语言

型号

VK-X160K

综合倍率

19200 倍以下*1

视野 (最小观察范围)

16 µm 至 5400 µm

帧频率

激光测量速度

4 至120 Hz、7900 Hz*2

测量原理

光学系统

针孔共聚焦光学系统

光接收元件

光电倍增器、16 bit 感应

扫描方式 (常规测量时及图像连接时)

自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描)

高度测量

显示分辨率

5 nm

线性标尺

动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)

16 bit

重复精度σ

20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3

Z轴测量用内存

140 万步骤

准确性

0.2+L/100μm或更小(L=测量长度)*4

Z 载物台结构

结构

测量头分离结构

最大样品高度

28 mm, 128 mm (可选件)

宽度测量

显示分辨率

10 nm

重复精度3σ

20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3

准确性

±2%*4

XY 载物台结构

手动 运行范围

70 mm×70 mm

电动 运行范围

50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*5

观察

观察图像

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

最大拍摄分析率

3072×2304

测量用激光光源

波长

红色半导体激光 658 nm

最大输出

0.95 mW

激光产品

2 类激光产品 (GB7247.1)

重量

测量部

约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg)

控制器部

约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/ 测量品质/ 镜头倍率的组合中,取最快的一组组合时。线扫描的情况下,测量间距小于0.1 μm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*5 安装电动载物台时。

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