形状测量激光显微系统VK-X 系列

VK-X200K

形状测量激光显微镜

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型号

VK-X200K

类型

控制器

物镜放大倍率

15" 显示器的放大倍率 100 倍

15" 显示器的放大倍率 200 倍

15" 显示器的放大倍率 400 倍

15" 显示器的放大倍率 1000 倍

15" 显示器的放大倍率 2000 倍

15" 显示器的放大倍率 3000 倍

观察/测量范围

水平 (H)﹕ μm

15" 显示器的放大倍率 100 倍

15" 显示器的放大倍率 200 倍

15" 显示器的放大倍率 400 倍

15" 显示器的放大倍率 1000 倍

15" 显示器的放大倍率 2000 倍

15" 显示器的放大倍率 3000 倍

垂直 (V)﹕ μm

15" 显示器的放大倍率 100 倍

15" 显示器的放大倍率 200 倍

15" 显示器的放大倍率 400 倍

15" 显示器的放大倍率 1000 倍

15" 显示器的放大倍率 2000 倍

15" 显示器的放大倍率 3000 倍

操作距离 mm

15" 显示器的放大倍率 100 倍

15" 显示器的放大倍率 200 倍

15" 显示器的放大倍率 400 倍

15" 显示器的放大倍率 1000 倍

15" 显示器的放大倍率 2000 倍

15" 显示器的放大倍率 3000 倍

数值孔径 (N.A.)

15" 显示器的放大倍率 100 倍

15" 显示器的放大倍率 200 倍

15" 显示器的放大倍率 400 倍

15" 显示器的放大倍率 1000 倍

15" 显示器的放大倍率 2000 倍

15" 显示器的放大倍率 3000 倍

光学变焦

1 至 8 倍

综合倍率

200 至 24000 倍

观察/测量光学系统

针孔共聚焦光学系统

高度测量

测量范围

7 mm

显示分辨率

0.0005 μm

重复精度σ

0.012 μm *1

宽度测量

显示分辨率

0.001 μm

重复精度3σ

0.02 μm *2

帧存储

像素数

2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

对于单色图像

16 位

对于彩色图像

每个 RGB 8 位

对于高度测量

24 位

帧频率

面扫描

4 至 120 Hz

线扫描

7900 Hz

自动功能

AAG (自动增益)、自动对焦、自动设置上下限, 双扫描的亮度设置

测量用激光光源

波长

紫激光, 408 nm

最大输出

0.95 mW

激光产品

II 类激光产品 (IEC60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 *3)

光接收元件

PMT (光电倍增管)

用于光学观察的光源

灯泡

100 W 卤素灯

用于光学观察的
彩色摄像机

拍摄元件

1/3 英寸彩色 CCD 图像传感器

拍摄分辨率

超高精细 (3072 x 2304)

自动调整

增益、快门速度

数据处理模块

KEYENCE 指定专用个人电脑, (操作系统﹕ Windows 7 Professional Edition) *4

额定值

电源电压

100 至 240 VAC, 50/60 Hz

消耗电流

最大 450 VA

重量

约 11 kg

*1 使用 50 倍镜头测量 2 μm 的标准高度差时。
*2 使用 150 倍物镜在线性峰值模式测量 KEYENCE 1 μm 的参照图标线宽时 (图像均值 :8 倍)。
*3 FDA (CDRH) 的激光分类是基于IEC60825-1 并根据Laser Notice No.50 的要求而实施的。
*4 Windows 7 是美国微软公司的注册商

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