IM-6120
[广视野型]
IM-6025/6015
[通用型]
IM-6140
[高精度型]
视野 φ100×200mm
☐25×125mm
φ100mm
φ25mm
φ6mm
重复精度 座标台未移动:
±1 μm
座标台移动:
±2 μm
座标台未移动:
±0.5 μm
座标台移动:
±1.5 μm
±1μm
±0.5μm
±0.1μm
照明系统
自动调整高度