干涉式同轴 3D 位移测量仪WI-5000 系列

WI-S1

专用底座

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规格

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型号

WI-S1

XY 载物台移动量

X 轴:75 mm,Y 轴:50 mm

XY 载物台倾斜角度

±2 度

Z 轴载物台移动量

粗调节轮:64 mm,微调节轮:2.0 mm

外形尺寸(可动部位除外)

宽度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm

重量

约 10 kg

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