干涉式同轴 3D 位移测量仪

WI-5000 系列

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专用底座 WI-S1

WI-S1 - 专用底座

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技术规格(PDF)

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技术规格(PDF)

规格

型号				WI-S1
XY 载物台移动量				X 轴：75 mm，Y 轴：50 mm
XY 载物台倾斜角度				±2 度
Z 轴载物台移动量				粗调节轮：64 mm，微调节轮：2.0 mm
外形尺寸(可动部位除外)				宽度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm
重量				约 10 kg

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