光学单元 (真空、耐热 20 mm 型) CL-V020N

CL-V020N - 光学单元 (真空、耐热 20 mm 型)

*请注意，图片中的配件可能不包括在产品中。

规格

型号			CL-V020N^*1
类型			光学单元
探头			CL-V020 ^*1
基准距离			20 mm
标准设定范围	测量范围		± 1.3 mm
	直线性		± 0.45 µm ^*2
高精度测量范围	测量范围		± 0.5 mm
	直线性		± 0.38 µm ^*2
分辨率			0.25 µm ^*3
光点直径			ø 20 µm
激光级别	光学单元		Class 1
采样周期			100/200/500/1000 µs(4 段可调)
环境抗耐性	保护结构	探头	IP40　真空用除气结构 ^*4
	环境光照		物体面照度 30000 lux(白炽灯)
	使用环境温度	探头	-20 至+200°C
		光学单元	0 至+50°C
	相对湿度		85％ RH 以下（无凝结）
	耐振动性	探头	10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时
		光学单元	10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时
	耐冲击性		15G 6 ms
	真空		支持超高真空 ^*5
温度特性	探头		0.013% of F.S. /℃ ^*6
	光学单元		0.015% of F.S. /℃
材质	探头		SUS304
	光学单元		聚碳酸酯
重量	探头		约 100 g
	光学单元		约 1600 g
^1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。 ^2 通过位移模式测量本公司标准工件(镜面体)的值。 ^3 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件(镜面体)的值。 ^4 粘贴附带的贴纸后，相当于IP50。 ^5 在10^-6 Pa 环境下经过动作验证。 ^6 数据适用于在感测头与工件之间使用 SUS303（或 SUS304）夹具的情况。