表面扫描激光共焦位移计

LT-9000 系列

粗面物体

为自动化和传感应用提供无与伦比的性能。

透明目标角度检查

透明目标角度检查

粗糙表面测量

LT-9000 系列采用光强度融合功能和激光扫描方法,即使对表面粗糙的目标也可实现高度稳定的测量。例如它可稳定测量带图案晶片的翘曲情况。

经腐蚀的表面轮廓

经腐蚀的表面轮廓

表面腐蚀轮廓测量

LT-9000 系列表面扫描激光共焦位移计可用于测量腐蚀后金属样品的表面轮廓。测量分辨率为 0.3 µm。2- m 的光点直径可准确追踪样品的轮廓。

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