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Z 轴扫描

0.3 μm 的出色分辨率实现高精度应用

Z 轴扫描

0.3 μm 的出色分辨率实现高精度应用

高精度测量方式使用共焦原理和音叉

激光束穿过依靠音叉快速上下振动的物镜聚集在目标表面。从目标表面反射的光束汇集在小孔处,随后进入感光元件。通过测量光线进入感光元件时物镜的确切位置,就可以确定目标高度。传感器精确测量目标表面的距离,不受目标材质、颜色或角度的影响。

高角度特性/测量薄膜厚度

共轴光学系统改善了测量性能

因同轴方式实现了高性能检测

没有在目标表面形成焦点时

没有在目标表面形成焦点时

小部分接收光穿过小孔。

在目标表面形成焦点时

在目标表面形成焦点时

所有接收光都穿过小孔。