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| LJ-G030
| LJ-G080
| LJ-G200
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Z 轴(高度) |
30 ±10 mm |
80 ±23 mm |
200 ±48 mm |
X 轴(宽度) |
22 mm |
32 mm |
62 mm |
Z 轴再现性 |
1 μm |
1 μm |
2 μm |
X 轴再现性 |
5 μm |
10 μm |
20 μm |
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系统
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激光位移传感器 (2D)
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