微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用

在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。

测量晶片厚度

微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。

测量晶片厚度

[优点]
超高分辨率

0.25 μm 的分辨率

多功能控制器

算术运算电路将测量数据即时转换为厚度。

不发热

传感头中没有电子部件,不会产生热量。

测量复印机中的辊的动作。

微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。

测量复印机中的辊的动作。

[优点]
ø2 mm 微型传感头

无需预留安装位置。

最高可承受 85°C

即使紧靠发热的机身也能进行测量。

5 kHz 高速采样

即使是高速工件也可安全地测量。

定位高精度载物台

微型传感头可用于检测载物台停止的位置,因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。

定位高精度载物台

[优点]
10 mm 以上的设定距离

无碰撞危险。

最多 6 轴同时测量

实现无时间误差的多轴控制。

ø8 mm 小型传感头

无需预留安装位置。

高精度测量辊的偏转。

微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊(例如胶辊)的偏转。

微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊(例如胶辊)的偏转。

[优点]
对工件无伤害

非接触测量方式避免损伤工件。

直接表示偏转度

控制器即时算出并显示偏转度。

5 kHz 高速采样

可紧跟高速旋转的工件。

测量曝光掩模的间隙

微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。

测量曝光掩模的间隙

[优点]
80 mm 的设定距离

即使掩模较厚亦可安装微型传感头。

ø12 mm 小型传感头

无需预留安装位置。

不发热

传感头中没有电子部件,不会产生热量。

测量玻璃盘的厚度

微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。

测量玻璃盘的厚度

[优点]
超高分辨率

0.25 μm 的分辨率

5 kHz 高速采样

可测量高速旋转的工件的厚度。

最多 6 轴同时测量

实现无时间误差的多轴控制。

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