微型传感头型分光干涉式 激光位移计SI-F 系列

SI-F01U3

分光单元 出口管制不受控制品

规格

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型号

SI-F01U3

类型

微型传感头型 光谱单元

测量范围

0.05 至 1.1 mm *1

测量用光源

红外 SLD 中心波长 820 nm 输出 0.6 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2)

光束直径

ø20 µm*3

线性度

±0.3 µm*4

分辨率

0.25 µm *5

采样周期

200 µs

导向光源

红色半导体激光 波长 650 nm 输出 0.1 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2)

LED显示

目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。0.01% 的 F.S./°C

温度波动

F.S.的0.01%

环境耐性

防护等级

环境照明

白炽灯或荧光灯:最大 10000 lux

环境温度

0 至 +35°C

相对湿度

35 至 80% RH(无冷凝)

抗振性

10 至 55Hz 双振幅0.5mm XYZ各方向2个小时

材料

聚碳酸酯

重量

约1 kg

*1 表示与传感头正面的距离。对于长距离型传感头,会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*2 FDA 的激光分类以 Laser Notice No. 50 和 IEC60825-1 为依据。
*3 表示量測範圍內的最小光束直徑。
*4 当测量对象是玻璃板并将平均测量次数设为 256 时获得的值。
*5 当测量位于测量范围中心的玻璃板表面并将平均测量次数设为 4,096 时获得的值。

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