微型传感头型分光干涉式 激光位移计

SI-F 系列

高精度测量仪器应用需求 调查活动

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型号

SI-F01

SI-F10

SI-F80

类型

微型传感头型 传感头

长距离型 传感头

厚度测量型 传感头

测量范围

0.05 至 1.1 mm *1

11.3 至 12.35 mm *1

0.05 至 1.1 mm *6
(可实现的检测距离: 80 至 81.1 mm)

测量用光源

红外 SLD 中心波长 820 nm 输出 0.6 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2)

光束直径

ø20 µm*3

ø40 µm*3

ø20 µm*3

线性度

±0.3 µm*4

±0.3 µm*7

分辨率

0.25 µm *5

采样周期

200 µs

导向光源

红色半导体激光 波长 650 nm 输出 0.1 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2)

LED显示

目标靠近测量中心:绿光。目标在测量范围内:橙光。目标在测量范围外:橙光闪烁。0.01% 的 F.S./°C

温度波动

F.S.的0.01%

环境抗耐性

外壳防护级

IP67

IP64

环境光照

白炽灯/荧光灯:最大 10,000 lux

环境温度

0 至 +85 °C

0 至 +40 °C

0 至 +50 °C

相对湿度

35 至 85 % RH (无凝结)

抗震性

10 至 55 Hz、双振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时

材料

SUS

材料

传感头

分光单元

聚碳酸酯

重量

约 24 g (含连接线)

约 38 g (含连接线)

约 39 g (含连接线)

*1 表示与传感头正面的距离。对于长距离型传感头,会出现最大 ±0.2 mm 的个别差异。
*2 FDA 的激光分类以 Laser Notice No. 50 和 IEC60825-1 为依据。
*3 表示量測範圍內的最小光束直徑。
*4 当测量对象是玻璃板并将平均测量次数设为 256 时获得的值。
*5 当测量位于测量范围中心的玻璃板表面并将平均测量次数设为 4,096 时获得的值。
*6 厚度测量型传感头显示玻璃板间距的测量范围。请确保测量对象位于检测距离范围内。
*7 当测量两块玻璃板间隙并将平均测量次数设为 256 时获得的值。

型号

SI-F1003V

SI-FA103

独立型

SI-F1003/SI-FD500

类型

主控制器一体型

扩展控制器*3

可连接的光谱单元数

2

1

显示

最小显示单位

0.001 µm

显示范围

±999.999 µm 至 ±9999.99 mm, ( 可选 7 种设定)

显示周期

10 次/秒

端子台

激光远程联锁输入

无电压输入*1

*1

定时 1 输入

无电压输入 2*1

复位 1 输入

无电压输入*1

自动调零1 输入

激光控制输入

模拟电压输出

±10 V x 2 输入,输出阻抗: 100 Ω*1

±10 V x 1 输入,输出阻抗: 100 Ω*1

模拟电流输出

4 至 20 mA x 2 输出,最大负载阻抗: 350 Ω*1

4 至 20 mA x 1 输出,最大负载阻抗: 350 Ω*1

警报输出

NPN 开集极输出(N.C.)*1

*1

通用比较器输出

NPN 开集极输出*1

扩展接口

定时输入

无电压输入 2*1

复位输入

无电压输入*1

自动调零输入

程序切换输入

无电压输入 x 3 输入*1

警报输出

NPN 开集极输出(N.C.)*1

比较器/ 二进制 输出

二进制输出

测量数据输出 (21 位), 可选 OUT 的 NPN 开集极输出*1

选通脉冲输出

NPN 开集极输出*1

二进制选择输出

二进制选择输入

无电压输入*1

RS-232C 接口

测量数据输出和控制输入/输出 (波特率最高可选择 115200 bps)

USB 接口

兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED)

Ethernet 接口

100Base-TX/10Base-T

主要功能

12 个 OUT 同时测量
计算、平均、滤波器、换算测量、测量值警报、容差设定、自动调零,数据存储, 光线监控器、8 程序存储器、干涉计模式、遮罩、设定支持软件连接等。

额定

电源电压

24 VDC ±10 %、纹波 (P-P) 10 % 以下

随主控制器提供

消耗电流

连接 1 个传感头时: 0.6 A 以下、连接 6 个传感头时: 1.5 A 以下。

环境抗耐性

环境温度

0 至 +50 °C*2

相对湿度

35 至 85 % RH (无凝结)

抗震性

10 至 55 Hz、双振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时

重量

约 600 g

约 300 g

*1 • NPN 开极集极额定输出:最大 50 mA(最大 40 V),残余电压:最大 0.5 V。
• 无电压额定输入:启动电压:最大 1 V,关闭电流:最大 0.6 mA。
• SI 系列的部分输入/输出电路是内部共用电路。请注意,内部公共端之间不会因连接线/外部设备之间的电位差而产生电位差。
要了解详细信息,请参见“接线注意事项”。
*2 当连接两个或更多扩展控制器时,环境温度为 0 至 +40 °C。
*3 最多可在主控制器上连接 4 个扩展控制器。

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