分光干涉式晶片厚度计

SI-F80R 系列

几乎不受晶片图案的影响

通过减小光点直径和光点内的表面相差,可最大限度的减少晶片表面图案的变化和测量警报的发生次数。

图案化硅晶片厚度分布数据

几乎不受晶片图案的影响

测量库

最近/最多下载的

    • General Catalog Request
    • FA dictionary
    • Trade Shows and Exhibitions
    • eNews Subscribe

    测量仪 / 测量传感器