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SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。 |
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关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 |
测量晶片厚度 |
| 微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。 |
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[优点]
超高分辨率 |
| 0.25 μm 的分辨率 |
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| 多功能控制器 |
| 算术运算电路将测量数据即时转换为厚度。 |
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| 不发热 |
| 传感头中没有电子部件，不会产生热量。 |
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测量复印机中的辊的动作。 |
| 微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。 |
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[优点]
ø2 mm 微型传感头 |
| 无需预留安装位置。 |
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| 最高可承受 85°C |
| 即使紧靠发热的机身也能进行测量。 |
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| 5 kHz 高速采样 |
| 即使是高速工件也可安全地测量。 |
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定位高精度载物台 |
| 微型传感头可用于检测载物台停止的位置，因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。 |
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[优点]
10 mm 以上的设定距离 |
| 无碰撞危险。 |
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| 最多 6 轴同时测量 |
| 实现无时间误差的多轴控制。 |
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| ø8 mm 小型传感头 |
| 无需预留安装位置。 |
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高精度测量辊的偏转。 |
| 微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊（例如胶辊）的偏转。 |
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[优点]
对工件无伤害 |
| 非接触测量方式避免损伤工件。 |
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| 直接表示偏转度 |
| 控制器即时算出并显示偏转度。 |
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| 5 kHz 高速采样 |
| 可紧跟高速旋转的工件。 |
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测量曝光掩模的间隙 |
| 微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。 |
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[优点]
80 mm 的设定距离 |
| 即使掩模较厚亦可安装微型传感头。 |
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| ø12 mm 小型传感头 |
| 无需预留安装位置。 |
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| 不发热 |
| 传感头中没有电子部件，不会产生热量。 |
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测量玻璃盘的厚度 |
| 微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。 |
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[优点]
超高分辨率 |
| 0.25 μm 的分辨率 |
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| 5 kHz 高速采样 |
| 可测量高速旋转的工件的厚度。 |
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| 最多 6 轴同时测量 |
| 实现无时间误差的多轴控制。 |
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| 产品目录和说明书同时包括感测头和控制器的信息。 |
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