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分光干涉式激光位移计
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| 分光干涉式激光位移计 |
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[超高精度] 分辨率:0.25 μm |
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[超小尺寸] 微型传感头尺寸:ø2 mm |
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[超前技术] 测量原理:分光干涉法 |
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同时控制 6 个传感头 |
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多重计算 |
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控制器配有 6 个不同的输入输出接口 |
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易于使用的数据收集专用 PC 软件 |
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即使已贴附背面研磨带也可测量晶片厚度 |
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将图案的影响降到最小 |
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可在生产线上进行测量 |
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自动映射整个晶片的厚度分布 |
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高精度表面扫描方式 |
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0.3 μm 的出色分辨率 |
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快速轻松的设置功能 |
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适用于各种应用的多种测量模式 |
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支持和服务 |
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| KEYENCE技术电子报 |
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