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| 产品特性 |
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观察和测量原理 |
使用两种光源（短波形激光和白色光源） |
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 |
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测量原理 |
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| VK-9700 采用了短波长紫色激光和白色光源。通过这两种光源获得构建彩色超深度高清3D图像所需要的颜色、光亮、高度等信息。 |
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测量原理之示意图 |
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| 短波形激光束检测反射的光强和高度 |
| VK-9700 的激光光源是点光源，所以通过 X-Y 扫描光学系把观察视野以 1024 X 768 的像素来分割扫描，用这样的受光素子来获得每个像素的反射光亮。在 Z 轴方向移动对物镜并重复扫描来获得每个像素的Z轴位置的反射光亮。光亮最强的 Z 轴位置为焦点获取高度信息和反射光亮。由此获得全图像都聚焦的高清超深度图像和显示高低的图像 (信息) 。 |
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| CCD 摄像机获取颜色信息 |
| 使用彩色 CCD 摄像机检测白光源的发射光。CCD 摄像机在每个像素的基础上，使用激光束获取峰值 (焦点) 的颜色信息。因此 VK-9700 可以完成 SEM 无法实现的真彩观察。 |
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| 获得的数据说明 |
| 平面上的每个像素 (1024 X 768 像素)，如下图所示在每个Z 轴位置获得反射光亮的信息，取得反射光亮最强的 Z 轴位置 (焦点位置) 及在此点上的反射光亮和颜色信息。基于此信息构建彩色超深度·光亮超深度·高低图像。 |
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测量后创建的三种图像 |
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| 彩色+光强信息 |
彩色超深度图像
SEM 和光学显微系统都无法提供的高清图像。 |
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| 光强信息 |
光强超深度图像
SEM 提供的黑白高度对比度图像。显示目标物表面上的反射率差。 |
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| 高低信息 |
高低图像
突出目标物不规则性的图像。 |
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| 使用针孔共聚焦光学系统进行高精度测量 |
| 传统的虚拟共聚焦光学系统使用 CCD 作为光接收元件，由于存在峰值 (焦点) 以外的点的反射光或临近像素的干扰光，所以无法进行高精度的测量和高清晰度的检查。针孔共聚焦光学系统能够完全消除峰值 (焦点) 以外的反射光，可以进行高精度的测量和高清晰度的观察。 |
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针孔共聚焦系统和传统系统的差异 |
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| 针孔共聚焦光学系统和传统系统的峰值 (焦点) 检测。 |
| 传统的光学系统从峰值 (焦点) 以外的点接收光，使图像散焦。针孔共聚焦光学系统只从焦点接收反射光。针孔共聚焦光学系统以高精度找出峰值 (焦点)，并提供聚焦的清晰图像。 |
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| 通常光学显微系统提供的图像 |
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VK-9700 系统提供的共聚焦图像 |
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| 不能除去散焦的光线和闪光。 |
只有完全消除了散焦光，只取共聚焦的部分。 |
| 光学薄膜 (1000 倍) |
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