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彩色 3D 激光扫描显微镜 VK-9700
支持和服务
产品特性

实现高精度测量的基本技术

高分辨率 0.001μm 测量能力,可用于任何类型的目标物。

请使用上部的下拉式服务菜单查看本产品的详细内容。

RPD 算法 [新型] *RPD = 真实峰值检

基于测量后的 ZI 曲线,使用独特的算法检测真实峰值。已经实现了高分辨率,并减少了测量时间。
RPD 算法
RPD 法提供了比 Z 位置中的步骤更为精确的准确度。在更短的时间内得到高精度的测量结果。

0.53μm 标准高度差测量结果 (与传统测量相比)
与传统测量相比

0.001μm 线性标尺模组 [业界最佳]

可追溯性对应
VK-9700 利用高精度线性标尺模组实现可靠的高度测量。标尺符合国家标准的可追溯性。
线性标尺模组

超高精度线性标尺模组 (与传统的线性标尺模组相比)
与传统的线性标尺模组相比
精度比传统产品高 10 倍

可追溯性对应

使用 VK 系列获得的测量结果是符合国家标准可追溯性的可靠的测量数据。
可追溯行示意图

高 N.A. Apo (复消色差) 镜头

物镜的 N.A. (数字孔径) 越高,焦深越浅,容易形成一个小光点。这可以带来高精度的测量和高清晰度的检查。此外,VK-9700 可以从陡峭的表面检测反射光,改进角度追踪特征。VK-9700 采用 N.A.0.95 Apo 镜头,这是光学镜头中的最高级。
Apo (复消色差) 镜头

14 位光电倍增管

采用光电子放大管作为光接收元件,此举为激光扫描显微镜带来了最佳的动态范围。
VK-9700 对反射差变动或反射光变得很弱的陡峭目标物都能进行准确的测量。
14 位光电倍增管

水平安装设计具有高耐振性

显微镜主体分为内藏物镜等观察·测量结构的测量头部和包含载物台等的底座。测量头部分的重量得以减轻,且采用了水平安装设计,从底座支撑测量头。这使得 VK-9700 可以安装在任何环境中和进行高精度地测量。VK-9700 的支腿采用了专用的耐振凝胶体。
水平安装设计具有高耐振性

MD 盘套件 (12000 倍)
非耐振设计 耐振设计
非耐振设计 耐振设计(VK-9700)
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产品目录 说明书 技术指南 CAD数据 3D CAD数据
动态分析三维显微系统 VW-6000 系列 全新
使用方便的高速度3D观察 VHX-600 系列 全新
3D 激光扫描显微镜 VK-9700 系列 全新
高倍率观察不受设置环境影响 VE-9800 系列 全新
3D 高清晰度电子显微镜 VE-8800 系列
数码显微镜 (停产) VH-8000 系列
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