形状测量激光显微镜 VK-X105

VK-X105 - 形状测量激光显微镜

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技术规格(PDF)

规格

型号			VK-X105
类型			测量模块
物镜放大倍率	15" 显示器的放大倍率 100 倍		5 倍
	15" 显示器的放大倍率 200 倍		10 倍
	15" 显示器的放大倍率 400 倍		20 倍
	15" 显示器的放大倍率 1000 倍		50 倍
观察/测量范围	水平 (H)﹕ μm	15" 显示器的放大倍率 100 倍	2700
		15" 显示器的放大倍率 200 倍	1350
		15" 显示器的放大倍率 400 倍	675
		15" 显示器的放大倍率 1000 倍	270
	垂直 (V)﹕ μm	15" 显示器的放大倍率 100 倍	2025
		15" 显示器的放大倍率 200 倍	1012
		15" 显示器的放大倍率 400 倍	506
		15" 显示器的放大倍率 1000 倍	202
操作距离 mm	15" 显示器的放大倍率 100 倍		22.5
	15" 显示器的放大倍率 200 倍		16.5
	15" 显示器的放大倍率 400 倍		3.1
	15" 显示器的放大倍率 1000 倍		0.54
数值孔径 (N.A.)	15" 显示器的放大倍率 100 倍		0.13
	15" 显示器的放大倍率 200 倍		0.3
	15" 显示器的放大倍率 400 倍		0.46
	15" 显示器的放大倍率 1000 倍		0.8
光学变焦			1 至 8 倍
综合倍率			100 至 8000 倍
观察/测量光学系统			针孔共聚焦光学系统
高度测量	测量范围		7 mm
	显示分辨率		0.005 µm
	重复精度σ		0.02 µm^*1
宽度测量	显示分辨率		0.01 µm
	重复精度3σ		0.05 µm^*2
帧存储	像素数		2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64
	对于单色图像		16 位
	对于彩色图像		每个 RGB 8 位
	对于高度测量		21 位
帧频率	面扫描		4 至 120 Hz
	线扫描		7900 Hz
自动功能			AAG (自动增益)、自动对焦、自动设置上下限, 双扫描的亮度设置
测量用激光光源	波长		红色半导体激光, 658 nm
	最大输出		0.95 mW
	激光产品		II 类激光产品 (IEC60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10 ^*3)
光接收元件			PMT (光电倍增管)
用于光学观察的光源	灯泡		100 W 卤素灯
用于光学观察的彩色摄像机	拍摄元件		1/3 英寸彩色 CCD 图像传感器
	拍摄分辨率		超高精细 (3072 x 2304)
	自动调整		增益、快门速度
数据处理模块			KEYENCE 指定专用个人电脑， (操作系统﹕ Windows 7 Professional Edition) ^*4
软件部	自动变焦软件		在观察时自动对焦的软件
	像素平移软件		在拍摄图像之际，错开像素进行拍摄后，提高拍摄像素的软件
	HDR功能软件		以16bit获取数据后，使图像显示最佳化的软件
	RPD功能软件		快速、正确检测测量结果的算法
	AAG功能软件		自动调整设定范围内激光受光灵敏度的软件
	自动上下限设定软件		自动识别对象物的上限与下限后，设定测量范围的软件
	简单模式功能软件		可以流程图方式简单进行测量的软件
	注释功能软件		在观察画面上显示注释的软件
	计测/标尺显示软件		在尺寸测量或观察画面上显示标尺的软件
额定	电源电压		100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz
	功率消耗		最大 450 VA
重量			约 25 kg (分离时探头单体：约 8.5 kg)
^1 使用 50 倍镜头测量 2 µm 的标准高度差时。 ^2 使用 50 倍 (光学 2 倍变焦) 物镜在线性峰值模式测量 KEYENCE 1 µm 的参照图标线宽时 (图像均值：8 倍)。 ^3 FDA (CDRH) 的激光分类是基于IEC60825-1 并根据Laser Notice No.50 的要求而实施的。 ^4 Windows 7 是美国微软公司的注册商

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