干涉式同轴 3D 位移测量仪

WI-5000 系列

高精度测量仪器应用需求 调查活动

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型号

WI-001*1*2*3

WI-004*1*2*3

WI-010*1*2*3

参考距离

18 mm

测量范围

Z

1.4 mm(标准模式),0.7 mm(高速模式)

XY

1 × 1 mm

4 × 4 mm

10 × 10 mm

最小检测区域

4 × 4 µm

15 × 15 µm

40 × 40 µm

重复精度(段差)

0.1 µm*4

直线性(段差)

±2.8 µm(±0.2% of F.S.,F.S.=1.4 mm,+20 至+30℃)*5

测量用光源

类型

红外线SLD

中心波长

830 nm

激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

3R 类

输出

3.6 mW

引导用光源

类型

红色半导体激光

波长

660 nm

激光分类(IEC60825-1, GB7247.1)

1 类

输出

0.15 mW

采样周期

内部触发

133 ms(高速模式),266 ms(标准模式)

外部触发

最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(标准模式)*6

环境抗耐性

环境光照

白炽灯/荧光灯:5,000 lux 以下

环境温度

0 至 +35 °C

相对湿度

20 至 85 % RH (无凝结)

重量

约 3000 g

*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。
*2 使用基恩士标准目标物,并测量单一矩形区域(*3)的平均高度 30 秒时的±3σ 值(自动修复OFF 时)。
*3 矩形的尺寸为WI-001:0.3 × 0.9 mm,WI-004:1.1 × 3.7 mm,WI-010:3 × 9 mm。
*4 使用基恩士标准目标物,并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差 30 秒时的σ 值(自动修复OFF 时,且拍摄时间为精确度优先时)。
*5 使用基恩士标准目标物,并测量 2 个矩形区域(*3)的平均段差时的值(自动修复OFF 时,且拍摄时间为精确度优先时)。
*6 拍摄时的工件停止时间为高速模式 120 ms,标准模式 240 ms。

型号

WI-5000

测量头连接台数

1 台

设定注册数

SD 卡 1、SD 卡 2 分别可保存 1000 个(取决于 SD 卡容量及设定内容),可进行外部切换

测量工具数

100 个/ 设定(其中20 个为位置偏移补正用)

测量模式

高度

高度测量、段差测量、多点高度测量(固定配置)、多点高度测量(自由配置)、轮廓测量、连续高度测量

图像尺寸测量

距离测量、宽度测量、直线检测、角度测量、圆检测、点检测

辅助功能

数值计算、图像范围生成、直线显示、圆显示、点显示、刻度线显示

接口

控制输入

20 点(输入端子台5 点,并联 I/O15 点)

控制输出

・28 点(输出端子台 6 点,并联I/O 22 点)
・光MOSFET*1

RS-232C

数值输出及控制输入输出(无法与使用 RS-232C 端口的 PLC 链接同时使用)

PLC 链接

使用 Ethernet 端口或 RS-232C 端口进行数值输出及控制输入输出(无法与 EtherNet/IPTM 同时使用。使用 RS-232C 端口时,无法与 RS-232C 无协议通信同时使用)

Ethernet

・数值输出及控制输入输出
・与基恩士生产的PC 应用软件连接后,除了上述功能以外,还能进行包含检测设定的上传、下载、各种模拟、图像数据在内的各种数据的收发、程连接
・支持FTP 客户端、服务器功能,支持VNC 服务器功能(计算机以外的客户端仅支持显示器画面显示)、BOOTP 功能
・1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T

USB

・与基恩士生产的PC 应用软件连接后,除了数值输出、控制输入输出以外,还能进行包含检测设定的上传、下载、各种模拟、图像数据在内的各种数据的收发、远程连接
・USB2.0 专用

EtherNet/IPTM

・使用Ethernet 端口进行数值输入输出及控制输入输出(无法与PLC 链接同时使用)
・支持循环通信(最大 1436 byte)、支持信息通信
・最大连接数 32
・遵循一致性测试 CT12 版

鼠标

可使用选配件的专用鼠标(8与控制器包装在一起)进行各种菜单操作

USB HDD

通过将专用的USB 端口(符合USB3.0,支持总线电源:额定输出 900 mA)连接到HDD(最大 2 TB),可输出包含图像数据在内的各种数据

显示器输出

模拟 RGB 输出 XGA 1024 × 768(24 bit 彩色,60 Hz)

最小显示单位

0.1 µm、0.001°、0.0001 mm2、0.00001 mm3

显示语言

简体中文/ 繁体中文/ 日文/ 英文/ 韩文 切换(初次启动时决定初始语言)

额定

最大消耗电流

2.7 A

电源电压

24 VDC ±10 %

环境抗耐性

环境温度

0 至 +45 °C (DIN 导轨安装)、0 至 +40 °C (底面安装)

相对湿度

35 至 85 % RH (无凝结)

重量

约 2,000 g

*1 支持NPN 输入设备的+ 共用连接、支持PNP 输入设备的- 共用连接均可。

型号

WI-S1

XY 载物台移动量

X 轴:75 mm,Y 轴:50 mm

XY 载物台倾斜角度

±2 度

Z 轴载物台移动量

粗调节轮:64 mm,微调节轮:2.0 mm

外形尺寸(可动部位除外)

宽度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm

重量

约 10 kg

型号

WI-C3

WI-C5

WI-C10

WI-C3L

WI-C5L

WI-C10L

WI-C3R

WI-C5R

WI-C10R

类型

测量头连接电缆 标准

测量头连接电缆 高柔性

末端形状

直型

L 型

直型

长度

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

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