分光干涉式晶片厚度计SI-F80R 系列

SI-F1003V

控制器 出口管制不受控制品 带显示单元

规格

选择语言

型号

SI-F1003V

独立型

SI-F1003/SI-FD500

类型

主控制器一体型

可连接的光谱单元数

2

显示

最小显示单位

0.001 µm

显示范围

±999.999 µm 至 ±9,999.99 mm,(可选 7 种设定)

显示周期

10 次/秒

端子台

激光远程联锁输入

无电压输入*1

定时 1 输入

无电压输入 2*1

复位 1 输入

无电压输入*1

自动调零1 输入

激光控制输入

模拟电压输出

±10 V x 2 输入,输出阻抗: 100 Ω*1

模拟电流输出

4 至 20 mA x 2 输出,最大负载阻抗: 350 Ω*1

警报输出

NPN 开集极输出(N.C.)*1

通用比较器输出

NPN 开集极输出*1

扩展接口

定时输入

无电压输入 2*1

复位输入

无电压输入*1

自动调零输入

程序切换输入

无电压输入 x 3 输入*1

警报输出

NPN 开集极输出(N.C.)*1

比较器/ 二进制 输出

二进制输出

测量数据输出 (21 位), 可选 OUT 的 NPN 开集极输出*1

选通脉冲输出

NPN 开集极输出*1

二进制选择输出

二进制选择输入

无电压输入*1

RS-232C 接口

测量数据输出和控制输入/输出 (波特率最高可选择 115200 bps)

USB 接口

兼容 2.0 HighSpeed(兼容 USB 1.1 Full-SPEED)

Ethernet 接口

100Base-TX/10Base-T

主要功能

12 个 OUT 同时测量
计算、平均、滤波器、换算测量、测量值警报、容差设定、自动调零,数据存储, 光线监控器、8 程序存储器、干涉计模式、遮罩、设定支持软件连接等。

额定

电源电压

24 VDC ±10 %、纹波 (P-P) 10 % 以下

消耗电流

连接 1 个传感头时: 0.6 A 以下、连接 6 个传感头时: 1.5 A 以下。

环境抗耐性

环境温度

0 至 +50 °C*2

相对湿度

35 至 85 % RH (无凝结)

抗震性

10 至 55 Hz、双振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 个小时

重量

约 600 g

*1 • NPN 开极集极额定输出:最大 50 mA(最大 40 V),残余电压:最大 0.5 V。
• 无电压额定输入:启动电压:最大 1 V,关闭电流:最大 0.6 mA。
• SI 系列的部分输入/输出电路是内部共用电路。请注意,内部公共端之间不会因连接线/外部设备之间的电位差而产生电位差。
要了解详细信息,请参见“接线注意事项”。
*2 当连接两个或更多扩展控制器时,环境温度为 0 至 +40 °C。

测量库

  • General Catalog Request
  • 从零开始学习! 工业自动化十大基础教科书
  • 可追溯 管理特辑
  • Trade Shows and Exhibitions
  • eNews Subscribe

测量仪 / 测量传感器