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测量仪的种类1D激光移位计

三角测量方式

如下图所示,由半导体激光向目标物照射激光。以受光镜头聚集目标物反射的光,并在光接收元件上成像。一旦距目标物的距离变动,聚集反射光的角度也会改变,随之在光接收元件上的成像位置发生变化。 该光接收元件上的成像位置变化与目标物的移动量互成正比,因此读取成像位置的变化 量,即可测量为目标物的移动量。

  • 参考距离时
  • 距离接近时
  • 距离拉远时

代表产品

超高速/高精度CMOS激光位移传感器 LK-G5000系列

厚度/宽度/高度差等的“尺寸测量” 高度/振动/行程等的“位移测量” 可应对各种情况的卓越处理能力

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共焦方式

激光穿过依靠音叉快速上下振动的接物透镜聚焦在目标物上。此时的反射光汇集在针孔处,随后进入光接收元件。通过以传感器测量接物透镜在入光瞬间的确切位置,精确测量出距目标物的距离,不会受到目标物材质、颜色或倾斜的影响。

  1. 未在目标物上对焦时 一小部分接收光穿过针孔。
  2. 在目标物上对焦时 全部接收光穿过针孔。

代表产品

表面扫描激光共焦位移计 LT-9000系列

Z 轴扫描: 对音叉运用共焦原理,实现高精度测量。 X 轴扫描: 振荡模块产生巨大的扫描区域。实现更高的测量稳定性。

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分光干涉方式

  1. SLD

    从SLD发出的宽波长带宽的光,一部分在传感器头内部的参照面产生反射,透过的光则在目标物上产生镜面反射,返回到传感器头内部。

  2. 光干涉

    2种反射光相互干涉,各波长的干涉光强度依参照面与目标物间的距离而定,距离为波长的整数倍时达到最大。

  3. 分光分析

    通过分光仪按波长将干涉光分光处理,由此达成按波长的光强度分布。以波形分析该光强度分布,计算距目标物的距离。

代表产品

微型传感头型 分光干涉式激光位移计 SI-F系列

业界超细微型传感器头,超高精度,无一般传感器的发热问题,也不受电磁噪声影响。

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