分光干涉法
SI系列

SI系列

行程量通过使用分光干涉法的测量仪器进行测量。
传感器头直径小至φ2 mm,即使在狭窄位置中也可进行测量。

选择要点

  • 1 nm分辨率的超高精度
  • 不受环境温度影响
SI-F系列

SI-F系列