接触式表面粗糙度、形状测量仪

接触式表面粗糙度和形状测量仪器

触针的顶端直接接触到样本表面的方式。
触针安装在检测器的顶端，对样本表面进行追踪，发生上下运动以供电子检测。电子信号经过放大和数字转换处理后被记录。

要利用接触式表面粗糙度测量计精确测量细微的形状和粗糙度，接触压力要小，触针顶端的半径也必须尽可能小。
触针是用蓝宝石或钻石制成，顶端半径通常小于10 μm。触针的理想形状是顶端为球形的圆锥体。

顶端半径： rtip ＝ 2 μm、5 μm、10 μm
圆锥角： 60°、90°

* 除非另有规定，一般测量仪器理想的圆锥角为60°。

接触式表面粗糙度测量计在测量过程中能够直接接触到样本，可靠性高。
然而，直接接触同样引发了以上概括的缺点。
以下介绍需特别注意的要点。

触针的磨损

触针必须经过抛光，因为他会随着时间而磨损。磨损的方式有所不同，视材料和测量目标对象的形状而定，触针会被磨平或磨圆。不同的触针形状就会产生不同的波形轮廓。
测定触针磨损的一种方法就是使用市售的磨损检验测试件。藉由比较触针磨损前后的测试件数据轮廓（凹槽宽度等）可以测定磨损情况。

测量压力导致样本上留下的印记

如前所述，触针由蓝宝石或钻石制成，但是使用这些硬质材料的部分有时会划伤目标对象表面。尤其是重复平行调节时，触针很容易在快速进料的过程中划伤样本。

小于触针顶端半径的凹槽无法测量

触针的顶端是球形的。如果凹槽宽度（划伤等）小于触针顶端的半径，触针顶端就无法正确追踪形状。