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ISO25178的评估方法和滤波器处理


评估方法的流程

ISO 25178 表面性状(表面粗糙度测量)的各项参数可按以下步骤进行计算。

  1. 对原表面进行表面滤波器(S- 滤波器)处理,以获取基础表面。
  2. 根据评估内容进一步进行表面滤波器(F- 操作或L- 滤波器)处理,以获取测量表面。
  3. 在测量表面上指定评估区域。
  4. 获取测量表面对应的基准表面,计算各项参数。


关于滤波器处理

ISO 目前仍在探讨有关滤波器处理的相关标准。以下介绍的是作为S- 滤波器、L- 滤波器处理方法而进行探讨的滤波器处理。

高斯滤波器

高斯滤波器是利用高斯函数去除干扰的平滑滤波器的一种。在表面粗糙度测量中,采用了根据JIS B 0632:2001(ISO 11562:1996)及ISO 16610-21:2011 规定进行了表面扩展的高斯滤波器。

样条滤波器

样条滤波器是利用样条函数, 插补相邻有效点间的各区间,以求得平滑曲线的滤波器的一种。在表面粗糙度测量中,采用了根据ISO/TS 16610-22:2006 规定的进行了表面扩展的样条滤波器。


S- 滤波器、L- 滤波器的设定

S- 滤波器指定的截断波长

设定为XY 平面(水平)上的测量分辨率3 倍以上的数值。另外,若设定的数值效果较小,则可提高设定值直至去除“ 测量表面”的干扰。若事先进行其他的滤波器处理,也可能无需使用。

L- 滤波器指定的截断波长

由于镜头倍率或触针的顶端直径等难以一并选择,需要根据原表面进行调节。需要将起伏设定为要去除形状的XY 方向长度(周期长度)的5 倍。

例)

轮廓1 水平距离
分类1 14.678 μm

如上图所示,截断值为 0.1 mm。

14.678 x 5 = 73.39 ≈ 0.1 mm



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