可以非接触方式进行测量

使用粗糙度仪的触针进行测量时,
不仅会划伤样品,
还存在无法测量比针尖直径更加细的形状等问题。

激光显微镜采用非接触方式进行测量,
即使是柔软的目标物仍可放心操作。
此外,激光的光点直径非常小,
可更准确地测量细微形状。

而且,可在显示器上以“面”测量目标位置,
缩短了测量时间。

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可以非接触方式进行测量