全自动影像测量仪
LM-X 系列
测量头 搭载彩色激光 LM-X100L
规格
型号 | LM-X100L | |||
类型 | 测量头 | |||
拍摄元件 | 1 型 2000 万像素 黑白CMOS | |||
受光镜头 | 双远心镜头 | |||
图像测量 | 视野 | 广视野测量模式 | 325 mm × 175 mm | |
高精度测量模式 | 306 mm × 156 mm | |||
最小显示单位 | 0.1 μm | |||
重复精度 | 视野内(2σ) | 广视野测量模式 | ±0.5 μm | |
高精度测量模式 | ±0.1 μm | |||
有座标台移动 | X/Y 轴 | ±0.9 μm | ||
XY 平面 | ||||
测量精度 | 视野内(2σ) | 广视野测量模式 | ±2 μm *1 | |
高精度测量模式 | ±0.7 μm *2 | |||
有座标台移动 | X/Y 轴(EUX,MPE、EUY,MPE) | ±（1.8 + 0.02 L）μm *3 | ||
XY 平面(EUXY , MPE) | ±（2.8 + 0.02 L）μm *3 | |||
AF 高度测量 | 重复精度 | ±2 μm | ||
测量精度（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
激光高度测量 | 可测量范围（XY） | 239 mm × 146 mm | ||
最小显示单位 | 0.1 μm | |||
重复精度 | ±0.6 μm *5 | |||
测量精度（EUZ,MPE） | ±（4.8 + 0.04 L）μm *4 | |||
光点直径 | ø50 μm | |||
激光等级 | Class 1 | |||
外部遥控输入 | 无电压输入（有接点/ 无接点） | |||
外部输出 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMOS 输出 | ||
照明系统 | 透过 | 绿色LED 远心透过照明 | ||
落射 | 彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明（电动） | |||
外部照明控制 | 光量控制 | PWM 控制 100 kHz | ||
输出电压 | 12 VDC | |||
输出电流 | 1.6 A（最大） | |||
XY 座标台 | 移动范围 | 300 mm × 150 mm | ||
承受负重 | 7 kg | |||
Z 座标台 | 移动范围 | 75 mm（电动） | ||
电源 | 电源电压 | 100 至240 VAC ±10％（50/60 Hz） | ||
消耗功率 | 150 VA 以下 | |||
环境抗耐性 | 环境温度 | +10 至35° C *6 | ||
相对湿度 | 20 至80%RH（无凝结） | |||
过电压类别 | Ⅱ | |||
污染等级 | 2 | |||
重量 | 约34 kg | |||
*1 在20 mm × 20 mm 范围内、于调焦点位置、使用环境温度+23±1° C 时 | ||||
