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分光干涉式激光位移计

SI-F 系列

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以下列出了 2 个系列

以下列出了 2 个系列

停产系列:

SI-F 系列 - 微型传感头型分光干涉式 激光位移计

业界超细微型传感器头,超高精度,无一般传感器的发热问题,也不受电磁噪声影响。

SI-F80R 系列 - 分光干涉式晶片厚度计

采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。

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